Plasma Ytbehandling | Femto - Lågtrycks Plasma Ytbehandlingssystem, Plasma Rengöring
Diener electronics plasmaanläggningar har länge etablerat sig inom de mest varierande industriella sektorerna. Med den låga tryck plasmaanläggningen Femto satsar du på modern och hållbar kall plasma-teknologi under vakuum. Volymen på kammaren, som är 2 till 3 liter, erbjuder tillräckligt med utrymme för laboratorier och små serier.
Behandling med lågt tryck plasma är en beprövad teknik för kontrollerad finrengöring, förbättring av vidhäftning (aktivering och ättning) samt beläggning av tunna skikt på substratoverflater. Plasma genereras genom användning av högfrekvent spänning i vakuumkammaren. Behandlingsgasen som introduceras där ioniseras sedan.
Tillämpning:
- Rengöring utan VOC av organiska rester
- Aktivering före målning, limning, inkapsling, ...
- ättning av PTFE, fotokänslig lack, oxidlager, ...
- Superhydrofoba och superhydrofila beläggningar
Dimensioner (bordsmodell): 310 - 560 mm x 211 - 860 mm x 420 - 600 mm (LxHxD)
Dimensioner (stående modell): 600 mm x 1700 mm x 800 mm (LxHxD)
Vakuumkammare (material): Rostfritt stål, Aluminium, Kvartsglas, Borosilikatglas
Vakuumkammare (dimensioner): Ø 95/100 mm, P 280/278 mm, 103-110 mm x 103-120 mm x 285-300 mm (LxHxD)
Vakuumkammare (volym): ca. 2 - 3 liter
Vakuumkammare (stängning): lock, gångjärnsdörr
Gasförsörjning: Nålventiler / Massflödesmätare (Mass-Flow-Controller (MFCs))
Tryckmätning: Pirani, Kapacitiv manometer (för korrosiv gasversion)
Generatorer: 40 kHz; 100 kHz; 13,56 MHz; 2,45 GHz
Elektroder: En eller flera nivåer
Kontrollsystem: Semi-automatiskt, Vridknapp, Basic PC, Full PC
Spänningsförsörjning: 230 V / 400 V / 50 - 60 Hz
Vakuumpumpar: Sugkraft: 3 m³/h